【48812】热导式气体传感器用于氦检仪器中氦气浓度检测

  真空箱式氦气检漏体系因为检漏率高、单次检测次数多、简略易操作、运转成本低，已成为大型工件和电子设备生产线批量检漏的首要办法。依据检漏办法的不同，真空箱式氦检漏体系可分为氦压真空箱式检漏和充氦检漏收回两种办法。

  充氦检漏原理：走漏的氦气抵达氦检测器中的电离器，被灯丝发射的电子束电离。在离子被特定的电压加快后，它们飞到氦检测器的磁场中进行偏转。依据质量差异，得到不同的偏转半径，筛选出氦离子抵达剖析管，发生微电流。经过高性能、低噪声扩大后，得到可读的电流信号，经过标定树立走漏率联系，确认走漏率。

  氦气检测是一种质谱检测的新办法，将氦气作为示踪气体注入到待检测的工件中，经过质量剖析管将工件走漏的氦气转换成相应的微电流信号，然后确认氦气的走漏量，从而确认工件的走漏是否合格。

  氦是除氢之外最轻的气体，这正是氦检所运用的，当氦气注入被测管道时，在天然状态下会笔直向上分散，假如管道有走漏，咱们我们能够经过氦气检测仪检测氦气的百分比浓度，运用氦气分子很小，很简单进入那些肉眼检测不到的小孔，来判别管道体系的走漏率是不是满意国家标准。这便是管道氦气检漏的办法。

  关于一些高精度的精密电子元件，要测验的元件放在一个充溢氦气的容器中，并加压；在压力的效果下，假如这些部件有走漏点，氦气必然会经过这一些小孔进入部件。用压缩空气吹扫元件外表少数残留的氦气后，用质谱仪检测元件外表走漏的氦气。氦气浓度检测工采网技能工程师引荐运用热导式气体传感器：

  荷兰Xensor 热导式气体传感器 － XEN－TCG3880，传感器芯片包含了2．5＊3．33mm 的硅晶片，0．3mm的厚度，有一层氮化硅的薄膜，可进行热导率的丈量，空气中的He、CO2、H2、N2等气体浓度的丈量。

  瑞士Neroxis 热导式气体传感器 － MTCS2601，或许根据帕拉尼原理的真空度检测，需求超低功耗，长寿命和免保护的产品。适用于恶劣环境下初级压力操控，需求功耗和尺度的约束，或许是气体走漏或许水分，或许侵入。